截至9月30日13:19，上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數強勢上漲1.46%，成分股神工股份上漲13.63%，晶升股份上漲10.12%，芯源微上漲5.68%，中芯國際上漲3.07%?？苿?chuàng)半導體ETF（588170）上漲1.39%，盤中溢價頻現，買盤活躍。拉長時間看，截至9月29日，科創(chuàng)半導體ETF近1周累計上漲15.52%。

規(guī)模方面，科創(chuàng)半導體ETF最新規(guī)模達26.04億元，創(chuàng)成立以來新高。從資金凈流入方面來看，科創(chuàng)半導體ETF近9天獲得連續(xù)資金凈流入，最高單日獲得6.32億元凈流入，合計“吸金”17.21億元，日均凈流入達1.91億元。

公開信息顯示， 科創(chuàng)半導體ETF （588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數，囊括科創(chuàng)板中 半導體設備 （59%）和半導體材料（25%）細分領域的硬科技公司。 半導體設備 和材料行業(yè)是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。